青岛益嘉元科贸有限公司
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真空镀膜设备 Vacuum Equipment
文字介绍
● 蒸发镀膜设备
● 刻蚀机
● PECVD
● 溅射台
● 离子注入机
● 去胶设备
● 薄膜成型装置
蒸发镀膜设备
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卤素检漏仪
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蒸发镀膜设备
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IC卡/读卡器
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产品分类
ei系列批量型高真空系统
ei系列批量型高真空系统
ei系列批量型高真空系统
支持各种蒸发源(即EB,RH,EB+RH等);基材托架与每个过程相一致的...
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用于研发的高密度等离子刻蚀系统NE-550EX
用于研发的高密度等离子刻蚀系统NE-550EX
用于研发的高密度等离子刻蚀系统NE-550EX
配备低压、低电子温度和高密度等离子源;支持从离子蚀刻到自由基蚀刻...
配备低压、低电子温度和高密度等离子源;支持从离子蚀刻到自由基蚀刻...
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Si深刻蚀系统NLD-5700Si
Si深刻蚀系统NLD-5700Si
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良好的重复性和稳定的过程;对光阻的高选择性(200-500),对CD偏移...
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刻蚀机
PECVD
负载锁定式等离子CVD系统CC-200/400
负载锁定式等离子CVD系统CC-200/400
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27 12MHz的高密度等离子体工艺;支持SiH4(SiO2,SiNx,SiON,a-Si...
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27 12MHz的高密度等离子体工艺;支持SiH4(SiO2,SiNx,SiON,a-Si...
溅射台
多腔室溅射系统ENTRONTM-EX2 W300
多腔室溅射系统ENTRONTM-EX2 W300
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各种应用(NVM,Al和铜布线,钛或氮化钛阻挡金属,厚铝和钴或镍自对...
各种应用(NVM,Al和铜布线,钛或氮化钛阻挡金属,厚铝和钴或镍自对...
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离子注入机
用于SiC 的高温离子注入机IH-860DSIC
用于SiC 的高温离子注入机IH-860DSIC
用于SiC 的高温离子注入机IH-860DSIC
持续高温植入;高达700keV;通过软件链式植入;占地面积小;覆盖研发到...
持续高温植入;高达700keV;通过软件链式植入;占地面积小;覆盖研发到...
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去胶设备
薄膜成型装置
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