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ei系列批量型高真空系统
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支持各种蒸发源（即EB，RH，EB+RH等）;基材托架与每个过程相一致的...
支持各种蒸发源（即EB，RH，EB+RH等）;基材托架与每个过程相一致的...
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干真空泵LS系列
干真空泵LS系列
干真空泵LS系列
高泵速——可在接近大气压的情况下维持高泵速，大大缩短抽送时间;低...
高泵速——可在接近大气压的情况下维持高泵速，大大缩短抽送时间;低...
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干真空泵CR Series Ver.B
干真空泵CR Series Ver.B
干真空泵CR Series Ver.B
空气冷却，运行成本低;不需要冷却水和氮气;该泵具有功耗低、气密性...
空气冷却，运行成本低;不需要冷却水和氮气;该泵具有功耗低、气密性...
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干真空泵GR系列
干真空泵GR系列
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特别适用于高负荷应用，如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在...
特别适用于高负荷应用，如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在...
特别适用于高负荷应用，如在常压和真空之间的反复泵送和持续运行在...
干真空泵LR/HR/UR系列
干真空泵LR/HR/UR系列
干真空泵LR/HR/UR系列
低温泵：LR系列泵是为负载锁定或PVD工艺设计的;ULVAC独特的铝设计允...
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自动泵PST-030CU/AU
自动泵PST-030CU/AU
自动泵PST-030CU/AU
10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模...
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自动泵PST-050CU/AU
自动泵PST-050CU/AU
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10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模...
10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模...
10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模...
自动泵PST-100CX/100AX
自动泵PST-100CX/100AX
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10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模...
10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模...
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自动泵PST-200CX2/200AX2
自动泵PST-200CX2/200AX2
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10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模...
10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模...
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离子泵控制器GST-07L-B
离子泵控制器GST-07L-B
离子泵控制器GST-07L-B
紧凑的尺寸、重量轻以及多功能性能，通过使用一个控制器对所有溅射...
紧凑的尺寸、重量轻以及多功能性能，通过使用一个控制器对所有溅射...
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陶瓷滚珠轴承涡轮分子泵UTM300B
陶瓷滚珠轴承涡轮分子泵UTM300B
陶瓷滚珠轴承涡轮分子泵UTM300B
安装方向无限制;由于自由安装方向的影响，系统设计的自由度较高;车...
安装方向无限制;由于自由安装方向的影响，系统设计的自由度较高;车...
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枢轴轴承型涡轮分子泵UTM系列
枢轴轴承型涡轮分子泵UTM系列
枢轴轴承型涡轮分子泵UTM系列
上部采用磁力轴承，下部采用枢轴轴承，消除了高速旋转时的机械接触;...
上部采用磁力轴承，下部采用枢轴轴承，消除了高速旋转时的机械接触;...
上部采用磁力轴承，下部采用枢轴轴承，消除了高速旋转时的机械接触;...
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