负载锁定式等离子CVD系统CC-200/400

      描述：

      CC-200/400是一款紧凑且易于使用的研发和生产系统。

      特性：

      27.12MHz的高密度等离子体工艺

      支持SiH4（SiO2，SiNx，SiON，a-Si）和TEOS（SiO2）的沉积。

      通过CF4 + O2等离子体维持腔室清洁。

      支持用于有机EL低温沉积的加热器。

      支持各种基材尺寸。

      C系列中间接顺序处理的真空启用盒（溅射：CS-200，蒸发：CV-200）。

      应用：

      电源设备

      LED，LD和高速器件的化合物相关器件

      研发用有机EL系统

      研发用太阳能电池系统

      微机电系统（MEMS）