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用于SiC 的高温离子注入机IH-860DSIC
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用于SiC 的高温离子注入机IH-860DSIC

持续高温植入;高达700keV;通过软件链式植入;占地面积小;覆盖研发到批量生产各个领域。

 

用于SiC 的高温离子注入机IH-860DSIC

       描述：


       用于碳化硅高温ESC批量生产的离子注入机。


       特性：


       持续高温植入


       高达700keV


       通过软件链式植入


       占地面积小


       覆盖研发到批量生产各个领域


       应用：


       SiC器件


 

用于SiC 的高温离子注入机IH-860DSIC

       描述：


       用于碳化硅高温ESC批量生产的离子注入机。


       特性：


       持续高温植入


       高达700keV


       通过软件链式植入


       占地面积小


       覆盖研发到批量生产各个领域


       应用：


       SiC器件


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