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专为严重的背压而设计;在压力降到10-2Pa(10-4torr)时，性能非常稳定;使用软管法兰(ULK-04A和06A上的排气法兰除外);泵可以很容易清洗(零件容易拆卸);配备机械装置，使操作液停止流向辅助泵。
ULVAC公司的扩散泵ULK系列不仅性能优越，而且运行成本极低。
【特征】
专为严重的背压而设计。
在压力降到10-2 Pa (10-4 torr)时，性能非常稳定。
使用软管法兰(ULK-04A和06A上的排气法兰除外)。
泵可以很容易清洗(零件容易拆卸)。
配备机械装置，使操作液停止流向辅助泵。
【规格】
ULVAC公司的扩散泵ULK系列不仅性能优越，而且运行成本极低。
【特征】
专为严重的背压而设计。
在压力降到10-2 Pa (10-4 torr)时，性能非常稳定。
使用软管法兰(ULK-04A和06A上的排气法兰除外)。
泵可以很容易清洗(零件容易拆卸)。
配备机械装置，使操作液停止流向辅助泵。
【规格】
