数字控制磁悬浮涡轮分子泵UTM-FH/FW系列   日本 ULVAC

      UTM-FH和UTM-FW是采用五轴磁悬浮和数字控制的复合涡轮分子，实现了高性能、高可靠性和节能的优点。UTM-FH系列提高了氢气的压缩比，具有较高的背压和高压缩类型，适用于轻到中工艺。UTM-FW系列产品范围广，流量大，适用于高负荷和中、硬工艺。

      【特征】

      丰富变化的泵速，从350升/秒(12.3CFM)到世界上最大的6300 L/s(222.4CFM)(数字磁控轴承类型)。

      可维护的，稳定的泵送性能，防止背压变化(FH系列)。

      可选择的内部加热系统，以控制转子温度，减少副反应副产物(FW系列)的附着力。

      优良的防腐表面处理(不包括3303 FH和6300 FH)。可选择的特殊表面处理(如镀镍+阳离子电沉积，特殊沉积膜，铝阳极氧化)是必要的。

      可以在各个方向上安装。

      变速系统标志着泵送速度可从25%改变到100%。

      由于采用无耦合系统和无调谐系统，不限制将任何电源和泵主单元组合起来改变电缆长度。

      利用再生能源自给发电，采用无黄油系统作为断电时的备用电源。麻烦的黄油更换是不必要的。

      内置监控/自诊断和通信功能，可配置集中监控系统。

      采用断裂吸能结构的安全设计，可减少泵故障时对真空系统的损坏。

      通过空气冲击试验、各种碰触试验、转子强制破坏试验和国外材料跌落试验(硅片下落)等试验，实现了高耐久性和高可靠性。

      【应用】

      utm-fh系列

      在没有任何副作用的情况下，如蒸发器、溅射系统、干法刻蚀等光中间过程的主要排气。

      器、研发系统、实验室设备等的主要排气。

      主要为诸如H2和He等轻气设备和系统进行排气。

      多涡轮分子泵具有集中式反泵配置。

      utm-fw系列

      干法刻蚀、CVD系统等中硬工艺的主要排气。

      用于干刻蚀、CVD系统、溅射系统等的高流量抽吸。

      分析仪器、研发系统、实验室设备等的主要排气。

      【规格】