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数字控制磁悬浮涡轮分子泵UTM-FH/FW系列
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数字控制磁悬浮涡轮分子泵UTM-FH/FW系列

丰富变化的泵速,从350升/秒(12.3CFM)到世界上最大的6300L/s(222.4CFM)(数字磁控轴承类型);可维护的,稳定的泵送性能,防止背压变化(FH系列);可选择的内部加热系统,以控制转子温度,减少副反应副产物(FW系列)的附着力;优良的防腐表面处理(不包括3303FH和6300FH)。可选择的特殊表面处理(如镀镍+阳离子电沉积,特殊沉积膜,铝阳极氧化)是必要的;可以在各个方向上安装;变速系统标志着泵送速度可从25%改变到100%;由于采用无耦合系统和无调谐系统,不限制将任何电源和泵主单元组合起来改变电缆长度;利用再生能源自给发电,采用无黄油系统作为断电时的备用电源。麻烦的黄油更换是不必要的;内置监控/自诊断和通信功能,可配置集中监控系统;采用断裂吸能结构的安全设计,可减少泵故障时对真空系统的损坏;通过空气冲击试验、各种碰触试验、转子强制破坏试验和国外材料跌落试验(硅片下落)等试验,实现了高耐久性和高可靠性。


数字控制磁悬浮涡轮分子泵UTM-FH/FW系列   日本 ULVAC

      UTM-FH和UTM-FW是采用五轴磁悬浮和数字控制的复合涡轮分子,实现了高性能、高可靠性和节能的优点。UTM-FH系列提高了氢气的压缩比,具有较高的背压和高压缩类型,适用于轻到中工艺。UTM-FW系列产品范围广,流量大,适用于高负荷和中、硬工艺。


      【特征】


      丰富变化的泵速,从350升/秒(12.3CFM)到世界上最大的6300 L/s(222.4CFM)(数字磁控轴承类型)。


      可维护的,稳定的泵送性能,防止背压变化(FH系列)。


      可选择的内部加热系统,以控制转子温度,减少副反应副产物(FW系列)的附着力。


      优良的防腐表面处理(不包括3303 FH和6300 FH)。可选择的特殊表面处理(如镀镍+阳离子电沉积,特殊沉积膜,铝阳极氧化)是必要的。


      可以在各个方向上安装。


      变速系统标志着泵送速度可从25%改变到100%。


      由于采用无耦合系统和无调谐系统,不限制将任何电源和泵主单元组合起来改变电缆长度。


      利用再生能源自给发电,采用无黄油系统作为断电时的备用电源。麻烦的黄油更换是不必要的。


      内置监控/自诊断和通信功能,可配置集中监控系统。


      采用断裂吸能结构的安全设计,可减少泵故障时对真空系统的损坏。


      通过空气冲击试验、各种碰触试验、转子强制破坏试验和国外材料跌落试验(硅片下落)等试验,实现了高耐久性和高可靠性。


      【应用】


      utm-fh系列


      在没有任何副作用的情况下,如蒸发器、溅射系统、干法刻蚀等光中间过程的主要排气。


      分析仪器、研发系统、实验室设备等的主要排气。


      主要为诸如H2和He等轻气设备和系统进行排气。


      多涡轮分子泵具有集中式反泵配置。


      utm-fw系列


      干法刻蚀、CVD系统等中硬工艺的主要排气。


      用于干刻蚀、CVD系统、溅射系统等的高流量气体抽吸。


      分析仪器、研发系统、实验室设备等的主要排气。


      【规格】


      








 







 


数字控制磁悬浮涡轮分子泵UTM-FH/FW系列   日本 ULVAC

      UTM-FH和UTM-FW是采用五轴磁悬浮和数字控制的复合涡轮分子,实现了高性能、高可靠性和节能的优点。UTM-FH系列提高了氢气的压缩比,具有较高的背压和高压缩类型,适用于轻到中工艺。UTM-FW系列产品范围广,流量大,适用于高负荷和中、硬工艺。


      【特征】


      丰富变化的泵速,从350升/秒(12.3CFM)到世界上最大的6300 L/s(222.4CFM)(数字磁控轴承类型)。


      可维护的,稳定的泵送性能,防止背压变化(FH系列)。


      可选择的内部加热系统,以控制转子温度,减少副反应副产物(FW系列)的附着力。


      优良的防腐表面处理(不包括3303 FH和6300 FH)。可选择的特殊表面处理(如镀镍+阳离子电沉积,特殊沉积膜,铝阳极氧化)是必要的。


      可以在各个方向上安装。


      变速系统标志着泵送速度可从25%改变到100%。


      由于采用无耦合系统和无调谐系统,不限制将任何电源和泵主单元组合起来改变电缆长度。


      利用再生能源自给发电,采用无黄油系统作为断电时的备用电源。麻烦的黄油更换是不必要的。


      内置监控/自诊断和通信功能,可配置集中监控系统。


      采用断裂吸能结构的安全设计,可减少泵故障时对真空系统的损坏。


      通过空气冲击试验、各种碰触试验、转子强制破坏试验和国外材料跌落试验(硅片下落)等试验,实现了高耐久性和高可靠性。


      【应用】


      utm-fh系列


      在没有任何副作用的情况下,如蒸发器、溅射系统、干法刻蚀等光中间过程的主要排气。


      分析仪器、研发系统、实验室设备等的主要排气。


      主要为诸如H2和He等轻气设备和系统进行排气。


      多涡轮分子泵具有集中式反泵配置。


      utm-fw系列


      干法刻蚀、CVD系统等中硬工艺的主要排气。


      用于干刻蚀、CVD系统、溅射系统等的高流量气体抽吸。


      分析仪器、研发系统、实验室设备等的主要排气。


      【规格】