青岛益嘉元科贸有限公司
Qingdao YJY Trading Co.,Ltd
联系电话:0532-82022580
×
<在线客服<
专注检漏20年   半导体设备综合服务商
枢轴轴承型涡轮分子泵UTM系列
  • 枢轴轴承型涡轮分子泵UTM系列
  • 枢轴轴承型涡轮分子泵UTM系列
  • 枢轴轴承型涡轮分子泵UTM系列
  • 枢轴轴承型涡轮分子泵UTM系列
0 1 2 3

枢轴轴承型涡轮分子泵UTM系列

上部采用磁力轴承,下部采用枢轴轴承,消除了高速旋转时的机械接触;因此,轴承的更换和换油变得不必要,实现了轴承寿命的延长;通过对原叶片的设计,实现了精细的动平衡转子和高效轴承,实现了H2、He等低分子量气体的高速旋转和入口性能(高压缩比);采用轴心轴承油和氟化物油(饱和蒸气压稳定、低的油),实现了油无限接近零的环境。实现清洁、超高真空是可能的;采用精密动平衡转子和高效轴承,实现低噪音、低振动。

 

枢轴轴承型涡轮分子泵UTM系列      日本 ULVAC

      UTM系列是一种全叶片式涡轮分子泵,带有枢轴轴承(下部)和磁性轴承(上部)。


      采用枢轴轴承,减小了高速旋转时的机械接触。


      此外,还实现了低振动和高压缩比。


      【特征】


      上部采用磁力轴承,下部采用枢轴轴承,消除了高速旋转时的机械接触。


      因此,轴承的更换和换油变得不必要,实现了轴承寿命的延长。


      通过对原叶片的设计,实现了精细的动平衡转子和高效轴承,实现了H2、He等低分子量气体的高速旋转和入口性能(高压缩比)。


      采用轴心轴承油和氟化物油(饱和蒸气压稳定、低的油),实现了油无限接近零的环境。实现清洁、超高真空是可能的。


      采用精密动平衡转子和高效轴承,实现低噪音、低振动。


      【应用】


      主要的真空系统,如分析设备、研发设备和实验设备。作为加速器和光束线的粗糙真空泵


      主要的真空系统是低质量的分子气体,如H2和He。


      振动敏感的主要真空系统,如分析设备和评价设备。


      【规格】


        

 

枢轴轴承型涡轮分子泵UTM系列      日本 ULVAC

      UTM系列是一种全叶片式涡轮分子泵,带有枢轴轴承(下部)和磁性轴承(上部)。


      采用枢轴轴承,减小了高速旋转时的机械接触。


      此外,还实现了低振动和高压缩比。


      【特征】


      上部采用磁力轴承,下部采用枢轴轴承,消除了高速旋转时的机械接触。


      因此,轴承的更换和换油变得不必要,实现了轴承寿命的延长。


      通过对原叶片的设计,实现了精细的动平衡转子和高效轴承,实现了H2、He等低分子量气体的高速旋转和入口性能(高压缩比)。


      采用轴心轴承油和氟化物油(饱和蒸气压稳定、低的油),实现了油无限接近零的环境。实现清洁、超高真空是可能的。


      采用精密动平衡转子和高效轴承,实现低噪音、低振动。


      【应用】


      主要的真空系统,如分析设备、研发设备和实验设备。作为加速器和光束线的粗糙真空泵


      主要的真空系统是低质量的分子气体,如H2和He。


      振动敏感的主要真空系统,如分析设备和评价设备。


      【规格】