枢轴轴承型涡轮分子泵UTM系列      日本 ULVAC

      UTM系列是一种全叶片式涡轮分子泵，带有枢轴轴承(下部)和磁性轴承(上部)。

      采用枢轴轴承，减小了高速旋转时的机械接触。

      此外，还实现了低振动和高压缩比。

      【特征】

      上部采用磁力轴承，下部采用枢轴轴承，消除了高速旋转时的机械接触。

      因此，轴承的更换和换油变得不必要，实现了轴承寿命的延长。

      通过对原叶片的设计，实现了精细的动平衡转子和高效轴承，实现了H2、He等低分子量的高速旋转和入口性能(高压缩比)。

      采用轴心轴承油和氟化物油(饱和蒸气压稳定、低的油)，实现了油无限接近零的环境。实现清洁、超高真空是可能的。

      采用精密动平衡转子和高效轴承，实现低噪音、低振动。

      【应用】

      主要的真空系统，如分析设备、研发设备和实验设备。作为加速器和光束线的粗糙真空泵

      主要的真空系统是低质量的分子气体，如H2和He。

      振动敏感的主要真空系统，如分析设备和评价设备。

      【规格】