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陶瓷滚珠轴承涡轮分子泵UTM300B
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陶瓷滚珠轴承涡轮分子泵UTM300B

安装方向无限制;由于自由安装方向的影响,系统设计的自由度较高;车载控制器;泵体的集成控制器能够减少电线工作和减少泵系统的体积;高压缩比高背压;高压缩比使泵能够在高背压下运转,并缩小其支持泵的尺寸;三种法兰;进口端口法兰可从ISO100-K、ICF152和VG100中选择;清洁真空环境;当泵运行和停止时,碳氢化合物气体的回流减少;低噪声;空载时的噪音水平为50分贝或以下(带有ISO-100K法兰)。


陶瓷滚珠轴承涡轮分子泵UTM300B     日本 ULVAC

      UTM300B是陶瓷球轴承的复合涡轮分子泵,具有优良的压缩比。采用集成控制器设计紧凑设计。优良的高背压性能允许使用较小的支持泵。
 
      【特征】


      安装方向无限制


      由于自由安装方向的影响,系统设计的自由度较高。


      车载控制器


      泵体的集成控制器能够减少电线工作和减少泵系统的体积。


      高压缩比高背压


      高压缩比使泵能够在高背压下运转,并缩小其支持泵的尺寸。


      三种法兰


      进口端口法兰可从ISO100-K、ICF 152和VG 100中选择.


      清洁真空环境


      当泵运行和停止时,碳氢化合物气体的回流减少。


      低噪声


      空载时的噪音水平为50分贝或以下(带有ISO-100 K法兰)


      适用标准


      CE和NRTL


      【应用】


      主要用于分析设备、研发系统、实验装置等的抽水系统。


      用于蒸发器和溅射系统等的主泵系统。


      主要抽吸系统,以疏散低分子气体如H2,He。


      【规格】


模型

UTM300B

冷却法

自然空气冷却

强制空气冷却(风扇)

进口法兰*1

VG 100ICF 152ISO 100-K

出口法兰

KF 16

泵速(没有保护屏)

N2   

280/

He

270/

H2

220/

极限压力(带二级反泵)

烘烤后

N2

*2

10-8

Ar

10-10

Ar

10-10

烘烤前

N2

10-6

Ar

10-8

Ar

10-8

最大压缩比

N2 : >1×109He7×106H2 : 1×105

N入口最大压力2 *3, *4, *5     

N2

Pa

6×10-2

7×10-1

Torr

5×10-4

5×10-3

mbar

6×10-4

7×10-3

N出口最大压力2 *3, *4, *6     

N2

Pa

100

1000

Torr

0.75

7.5

mbar

1

10

连续运行最大流量*7

当使用120 L/m反泵时。

无气体净化

N2

10sccm /0.2mbarL/sec

100sccm /1.7mbarL/sec

无气体净化

Ar

-

30sccm /0.5mbarL/sec

气体净化

-

40sccm /0.7mbarL/sec

推荐支持泵(10 SCCM)*8

>120/分钟

重量

VGISO/ICF

6kg/9kg

6.3kg / 9.3kg

旋转速度

600000 rpm

启动时间(高达80)(DC24V)。背压:5帕或更少)

3.5分钟

表面处理*9

安装方向

全方位

噪音*10

< 50dB (A)

标准附件

每一个教学Manua(l英语和日语),保护屏幕(VGICFISO法兰盖被安装在垫片中),垫片(用于进口),灰尘帽(或进气道,出口和连接器)


*1     进口法兰在订购时来自VG 100ICF 152ISO100-K.

*2     烘焙只适用于带有ICF法兰的强制风冷型。

*3     环境空气温度时的数值为25 ℃。如果环境空气温度发生变化,则可接受的数值将发生变化。

*4     最大出口压力和最大入口压力不能同时满足。

*5     最大进气道压力,可接受连续运行。

*6     当进气道气体流量为0 mL/min时,排气口的最大压力可接受连续运行。

*7     环境温度为5~25 C时的数值。此外,N2应用于气体净化,其流量应为0.4mbarL/(25 Sccm)

*8     当气体流量增加时,选择适当的后送泵,以保持排气口压力低于最大排气口压力。

*9     不要使用流动反应气体,腐蚀性气体,和气体包括镓。使用其他气体时请与我们联系。

*10  这个数值是由ISO法兰类型的ULVAC标准测量的。

 



 


陶瓷滚珠轴承涡轮分子泵UTM300B     日本 ULVAC

      UTM300B是陶瓷球轴承的复合涡轮分子泵,具有优良的压缩比。采用集成控制器设计紧凑设计。优良的高背压性能允许使用较小的支持泵。
 
      【特征】


      安装方向无限制


      由于自由安装方向的影响,系统设计的自由度较高。


      车载控制器


      泵体的集成控制器能够减少电线工作和减少泵系统的体积。


      高压缩比高背压


      高压缩比使泵能够在高背压下运转,并缩小其支持泵的尺寸。


      三种法兰


      进口端口法兰可从ISO100-K、ICF 152和VG 100中选择.


      清洁真空环境


      当泵运行和停止时,碳氢化合物气体的回流减少。


      低噪声


      空载时的噪音水平为50分贝或以下(带有ISO-100 K法兰)


      适用标准


      CE和NRTL


      【应用】


      主要用于分析设备、研发系统、实验装置等的抽水系统。


      用于蒸发器和溅射系统等的主泵系统。


      主要抽吸系统,以疏散低分子气体如H2,He。


      【规格】


模型

UTM300B

冷却法

自然空气冷却

强制空气冷却(风扇)

进口法兰*1

VG 100ICF 152ISO 100-K

出口法兰

KF 16

泵速(没有保护屏)

N2   

280/

He

270/

H2

220/

极限压力(带二级反泵)

烘烤后

N2

*2

10-8

Ar

10-10

Ar

10-10

烘烤前

N2

10-6

Ar

10-8

Ar

10-8

最大压缩比

N2 : >1×109He7×106H2 : 1×105

N入口最大压力2 *3, *4, *5     

N2

Pa

6×10-2

7×10-1

Torr

5×10-4

5×10-3

mbar

6×10-4

7×10-3

N出口最大压力2 *3, *4, *6     

N2

Pa

100

1000

Torr

0.75

7.5

mbar

1

10

连续运行最大流量*7

当使用120 L/m反泵时。

无气体净化

N2

10sccm /0.2mbarL/sec

100sccm /1.7mbarL/sec

无气体净化

Ar

-

30sccm /0.5mbarL/sec

气体净化

-

40sccm /0.7mbarL/sec

推荐支持泵(10 SCCM)*8

>120/分钟

重量

VGISO/ICF

6kg/9kg

6.3kg / 9.3kg

旋转速度

600000 rpm

启动时间(高达80)(DC24V)。背压:5帕或更少)

3.5分钟

表面处理*9

安装方向

全方位

噪音*10

< 50dB (A)

标准附件

每一个教学Manua(l英语和日语),保护屏幕(VGICFISO法兰盖被安装在垫片中),垫片(用于进口),灰尘帽(或进气道,出口和连接器)


*1     进口法兰在订购时来自VG 100ICF 152ISO100-K.

*2     烘焙只适用于带有ICF法兰的强制风冷型。

*3     环境空气温度时的数值为25 ℃。如果环境空气温度发生变化,则可接受的数值将发生变化。

*4     最大出口压力和最大入口压力不能同时满足。

*5     最大进气道压力,可接受连续运行。

*6     当进气道气体流量为0 mL/min时,排气口的最大压力可接受连续运行。

*7     环境温度为5~25 C时的数值。此外,N2应用于气体净化,其流量应为0.4mbarL/(25 Sccm)

*8     当气体流量增加时,选择适当的后送泵,以保持排气口压力低于最大排气口压力。

*9     不要使用流动反应气体,腐蚀性气体,和气体包括镓。使用其他气体时请与我们联系。

*10  这个数值是由ISO法兰类型的ULVAC标准测量的。