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离子泵控制器GST-07L-B
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离子泵控制器GST-07L-B

紧凑的尺寸、重量轻以及多功能性能,通过使用一个控制器对所有溅射离子泵(PST系列)进行控制;作为标准特性的通信功能,由外部通信控制功能提供,实现了远程控制和自动化操作;XHV造成的泵单元污染可以通过自动启动电路和软启动功能降低到绝对最小。(-专利编号1340297等);改进后的安全功能控制器具有防止其功能开关误操作的功能,并具有保护联锁功能。采用了耐高温、耐寒冷和优良电气特性的氟碳树脂高压电缆。限制某些有害物质在电气和电子设备中的使用(RoHS指令)-支持CE标记。

离子泵控制器GST-07L-B    日本 ULVAC

      GST-07L-B是一种喷溅式离子泵控制器,功能丰富,可靠性高。它是ULVAC公司在超高真空领域的广泛技术储备和长期业绩证明的产物。


      【特征】


      紧凑的尺寸、重量轻以及多功能性能,通过使用一个控制器对所有溅射离子泵(PST系列)进行控制。


      作为标准特性的通信功能,由外部通信控制功能提供,实现了远程控制和自动化操作。


      XHV造成的泵单元污染可以通过自动启动电路和软启动功能降低到绝对最小。(-专利编号1340297等)。


      改进后的安全功能控制器具有防止其功能开关误操作的功能,并具有保护联锁功能。采用了耐高温、耐寒冷和优良电气特性的氟碳树脂高压电缆。限制某些有害物质在电气和电子设备中的使用(RoHS指令)-支持CE标记。


      【应用】


      加速器


      电子显微镜


      分析器


      【规格】



可附泵

自动泵(PST系列的所有型号)

工作压力

10-210-4Pa或更低

显示范围

显示方法

数字显示(7LED)

显示内容

a)输出电流显示

自动选择两个量程:Ma,μA(线性显示)

b)输出电压显示

0.07.5kV(HL)(1-range线性显示)

(C)压力显示

PaMBR

(1×10-8~1×10-2(Pa)

(1×10-10~1×10-4(Mbar)

输出释放电压

DC+7.5kV

(2点,高低,采用前面板开关可选择;高/低电压设置可调,约1.07.5kV,使用微调器)

输出电流

小于DC31mA

输入电压/电流

AC100115V±10%  50/60Hz  3.0A

AC200240V±10%  50/60Hz  1.5A

监控终端输出信号

输出信号与7段面板显示器成比例,dc 010v,每一量程,超过100 kΩ。

压力设定点

2

远程/本地

从面板开关中选择使用

外部控制功能

提供各种输入/输出功能(提供远程连接器)(远程,RS-232C通信控制)

保护功能

错误显示/提供各种保护功能

高压(HV)输出关机误差05

启动保护的定时器设置(1分钟可调到255分钟)停电后自动预留(HV保持开关操作)

环境工况

温度

0~40 

湿度

小于85%(无露水)

附件

输出电缆(5m),输入电缆(3m)

重量

主要单位:大约。4公斤,电缆:大约。1.0kg(标准)



离子泵控制器GST-07L-B    日本 ULVAC

      GST-07L-B是一种喷溅式离子泵控制器,功能丰富,可靠性高。它是ULVAC公司在超高真空领域的广泛技术储备和长期业绩证明的产物。


      【特征】


      紧凑的尺寸、重量轻以及多功能性能,通过使用一个控制器对所有溅射离子泵(PST系列)进行控制。


      作为标准特性的通信功能,由外部通信控制功能提供,实现了远程控制和自动化操作。


      XHV造成的泵单元污染可以通过自动启动电路和软启动功能降低到绝对最小。(-专利编号1340297等)。


      改进后的安全功能控制器具有防止其功能开关误操作的功能,并具有保护联锁功能。采用了耐高温、耐寒冷和优良电气特性的氟碳树脂高压电缆。限制某些有害物质在电气和电子设备中的使用(RoHS指令)-支持CE标记。


      【应用】


      加速器


      电子显微镜


      分析器


      【规格】



可附泵

自动泵(PST系列的所有型号)

工作压力

10-210-4Pa或更低

显示范围

显示方法

数字显示(7LED)

显示内容

a)输出电流显示

自动选择两个量程:Ma,μA(线性显示)

b)输出电压显示

0.07.5kV(HL)(1-range线性显示)

(C)压力显示

PaMBR

(1×10-8~1×10-2(Pa)

(1×10-10~1×10-4(Mbar)

输出释放电压

DC+7.5kV

(2点,高低,采用前面板开关可选择;高/低电压设置可调,约1.07.5kV,使用微调器)

输出电流

小于DC31mA

输入电压/电流

AC100115V±10%  50/60Hz  3.0A

AC200240V±10%  50/60Hz  1.5A

监控终端输出信号

输出信号与7段面板显示器成比例,dc 010v,每一量程,超过100 kΩ。

压力设定点

2

远程/本地

从面板开关中选择使用

外部控制功能

提供各种输入/输出功能(提供远程连接器)(远程,RS-232C通信控制)

保护功能

错误显示/提供各种保护功能

高压(HV)输出关机误差05

启动保护的定时器设置(1分钟可调到255分钟)停电后自动预留(HV保持开关操作)

环境工况

温度

0~40 

湿度

小于85%(无露水)

附件

输出电缆(5m),输入电缆(3m)

重量

主要单位:大约。4公斤,电缆:大约。1.0kg(标准)