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自动泵PST-200CX2/200AX2
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自动泵PST-200CX2/200AX2

10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模型(AX2型)将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规泵相比);在超高真空获得高抽运速度;;在短时间内抽吸至超高真空;超高真空条件下的顶级抽运特性(排放维持在超高真空状态)。

自动泵PST-200CX2/200AX2     日本 ULVAC

      溅射离子泵是一种用于制造超高真空的泵,用于许多分析仪和加速器中。ULVAC的acter泵是为了使单个溅射离子泵能够在10-10 Pa的数量级上制造超高真空。它们被设计用于开发在超高和极高真空下可改进真空度和优化磁场的新元件(acter元件)。


      【特征】


      10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶)


      通过惰性气体增强泵模型(AX2型)将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规泵相比)


      在超高真空获得高抽运速度。


      在短时间内抽吸至超高真空。


      超高真空条件下的顶级抽运特性(排放维持在超高真空状态)


      【应用】


      加速器


      电子显微镜


      分析器


      【规格】
                

       

排放速度至1x10-7 Pa

(重复排放速度)

N2:   0.20m3/s(CX2·ax2)

Ar          0.02m3/s(CX2)   0.105m3/s(Ax2)

最终压力

10-10Pa   order

操作压力

-3Pa(建议值)

(最大工作压力:1.3 x10-2Pa)

*(使用GST-07L控制器)

体积

大约0.011m3

泵元件数

CX2   cell(X2)ax2 cell(X2)

连接法兰模型

UFC   203

外加电压

DC+7.5kV

标准烘焙温度

250

重量

65kg装有加热器,盖子)

外型尺寸W×D×H

296   x 361 x 376mm

加热器所需功率

单相200 V600 W左右.



自动泵PST-200CX2/200AX2     日本 ULVAC

      溅射离子泵是一种用于制造超高真空的泵,用于许多分析仪和加速器中。ULVAC的acter泵是为了使单个溅射离子泵能够在10-10 Pa的数量级上制造超高真空。它们被设计用于开发在超高和极高真空下可改进真空度和优化磁场的新元件(acter元件)。


      【特征】


      10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶)


      通过惰性气体增强泵模型(AX2型)将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规泵相比)


      在超高真空获得高抽运速度。


      在短时间内抽吸至超高真空。


      超高真空条件下的顶级抽运特性(排放维持在超高真空状态)


      【应用】


      加速器


      电子显微镜


      分析器


      【规格】
                

       

排放速度至1x10-7 Pa

(重复排放速度)

N2:   0.20m3/s(CX2·ax2)

Ar          0.02m3/s(CX2)   0.105m3/s(Ax2)

最终压力

10-10Pa   order

操作压力

-3Pa(建议值)

(最大工作压力:1.3 x10-2Pa)

*(使用GST-07L控制器)

体积

大约0.011m3

泵元件数

CX2   cell(X2)ax2 cell(X2)

连接法兰模型

UFC   203

外加电压

DC+7.5kV

标准烘焙温度

250

重量

65kg装有加热器,盖子)

外型尺寸W×D×H

296   x 361 x 376mm

加热器所需功率

单相200 V600 W左右.