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自动泵PST-100CX/100AX
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自动泵PST-100CX/100AX

10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶);通过惰性气体增强泵模型(AX2型)将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规泵相比);在超高真空获得高抽运速度;;在短时间内抽吸至超高真空;超高真空条件下的顶级抽运特性(排放维持在超高真空状态)。

自动泵PST-100CX/100AX     日本 ULVAC

      溅射离子泵是一种用于制造超高真空的泵,用于许多分析器和加速器中。ULVAC的自动泵设计用于开发新的元件(acter元件),改善超高和极高真空下的真空度,并优化磁场。


      【特征】


      10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶)


     通过惰性气体增强泵模型(AX2型)将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规泵相比)


      在超高真空获得高抽运速度。


      在短时间内抽吸至超高真空。


      超高真空条件下的顶级抽运特性(排放维持在超高真空状态)


      【应用】


      加速器


      电子显微镜


      分析器


      【规格】


       

排放速度至1x10-7 Pa

(重复排放速度)

N2:   0.10m3/s(CX·AX)

0.08m3s(1x10)-7(Pa)

最终压力

10-9Pa   order

操作压力

-3Pa(建议值)

最大操作压力:1×10-2(Pa)

*(使用GST-07L控制器)

体积

大约3.3 x 10-3m3

泵元件数

CX2   cell(X1)ax2 cell(X1)

连接法兰模型

UFC   152

外加电压

DC+7.5kV

标准烘焙温度

250

重量

37kg   左右(带加热器)

外型尺寸W×D×H

155   x 340x340mm

加热器所需功率

单相200 V320 W左右



自动泵PST-100CX/100AX     日本 ULVAC

      溅射离子泵是一种用于制造超高真空的泵,用于许多分析器和加速器中。ULVAC的自动泵设计用于开发新的元件(acter元件),改善超高和极高真空下的真空度,并优化磁场。


      【特征】


      10-9Pa级的极限压力(符合ISO标准的测试圆顶)


     通过惰性气体增强泵模型(AX2型)将泵送性能提高一倍(与ULVAC的常规泵相比)


      在超高真空获得高抽运速度。


      在短时间内抽吸至超高真空。


      超高真空条件下的顶级抽运特性(排放维持在超高真空状态)


      【应用】


      加速器


      电子显微镜


      分析器


      【规格】


       

排放速度至1x10-7 Pa

(重复排放速度)

N2:   0.10m3/s(CX·AX)

0.08m3s(1x10)-7(Pa)

最终压力

10-9Pa   order

操作压力

-3Pa(建议值)

最大操作压力:1×10-2(Pa)

*(使用GST-07L控制器)

体积

大约3.3 x 10-3m3

泵元件数

CX2   cell(X1)ax2 cell(X1)

连接法兰模型

UFC   152

外加电压

DC+7.5kV

标准烘焙温度

250

重量

37kg   左右(带加热器)

外型尺寸W×D×H

155   x 340x340mm

加热器所需功率

单相200 V320 W左右