干真空泵LR/HR/UR系列       日本 ULVAC

      ULVAC利用干泵内部产生的热量的独特方法使LR/HR/UR系列即使在最严格的过程中也能发挥作用。ULVAC的设计工作重点是在所有泵的各个阶段保持极高的温度，使这个系列泵最适合CVD和蚀刻应用。

      ULVAC的生态冲击可以被添加到LR泵中，以获得高达70%的能量节省，可用于任何轻工艺包括抽气或氮气。

      【特征】

      低温泵：LR系列泵是为负载锁定或PVD工艺设计的。

      ULVAC独特的铝设计允许在整个泵体上的温度分布非常均匀：HR曝气泵是为CVD和蚀刻工艺设计的。

      ULVAC UR系列泵适用于需要加热泵、加热管道和/或加热排气管的场合。

      优良的氦气抽气能力：罐装电机，安全，维修方便。

      电源故障保护：泵能承受高达1000毫秒的电源中断。

      优异的耐腐蚀性能：内部部件经过特殊处理，表面硬度高，耐腐蚀性能好。这样可以防止内部泵部件在暴露在腐蚀性气体中时发生磨损和腐蚀。

      通讯功能：可输出水泵数据，包括警告和警报。广泛的泵控制是可用的。
      CE标记可用：CE标记可根据要求提供。

      【应用】

      泵是专为CVD或干法蚀刻应用而设计的。

      泵是为PVD、蒸发或热处理工艺而设计的。

      缩短LL室排气时间(LR系列)

      泵用于处理产生粉末的过程气体，如Si晶体生长炉等。

      涡轮分子泵和机械助推器泵

      【规格】